天津华海清科机电科技有限公司

天津华海清科机电科技有限公司（简称“华海清科”）是天津市政府与清华大学为促进推动我国化学机械抛光（简称CMP）技术和设备产业化而合资成立的有限责任公司。公司座落于天津市津南区海河科技园内，公司从筹备到成立，得到了天津市各级政府和清华大学的全力支持。清华大学研发团队通过国家科技重大专项“极大规模集成电路装备与成套工艺”（简称02专项）项目“超低下压力CMP系统研制及工艺开发”的实施，已掌握了超低下压力CMP设备及工艺的关键技术，并成功研制出国内首台用于铜制程抛光的300mm晶圆“干进干出”CMP设备，初步具备产业化能力。 华海清科注册资本6000万元人民币，公司拥有清华大学的CMP设备核心技术与骨干团队，通过资源整合、人才引进，成为一家拥有自主核心技术和强大研究团队的高科技公司。华海清科将与清华大学继续合作，并联合中芯国际、上海集成电路研发等单位继续承担国家科技重大专项任务，终实现CMP设备与技术的国产化，逐步替代进口设备，为实现我国集成电路制造装备及工艺的国产化战略做出贡献。 [详细介绍]